SMC流量傳感器安裝連接尺寸

特點(diǎn)應(yīng)用:

以制作在白金薄膜中的加熱器(Rh)為中心，左右對(duì)稱配置上游測(cè)溫傳感器(Ru)和下游測(cè)溫傳感器(Rd)，

再加上作為氣體測(cè)溫用的環(huán)境溫度傳感器(Ra)構(gòu)成本MEMS傳感器觸點(diǎn)。

原理如右圖所示，(a)氣體在靜止?fàn)顟B(tài)時(shí)，以Rh為中心加熱后的氣體溫度呈分布均等狀態(tài)，Ru · Rd同時(shí)顯示同樣的電阻值。

此外.(b)氣體由左側(cè)向右側(cè)流動(dòng)時(shí)．被加熱的氣體溫度分布不再對(duì)稱，Pd的電阻值會(huì)變?yōu)榇笥赗u。

由于Ru和Rd電阻值的差與流動(dòng)氣體的流速成比例，因此可測(cè)定其電阻值并根據(jù)計(jì)算處理得知?dú)怏w的流向和流速(流量)。

Ra用于補(bǔ)償氣體溫度或者環(huán)境溫度。

●微小工件的吸附確認(rèn)

●重復(fù)精度: ± 2% F.S.以下

●響應(yīng)速度: 5 ms 以下、耐壓: 500 kPa

測(cè)定流量范圍300.0～3.0L/min

類型分離型傳感器部

適用流體干燥空氣 / N?

OUT1輸出形式模擬電壓輸出

傳感器響應(yīng)時(shí)間0.005 s

配管規(guī)格M5X0.8

模擬輸出精度±5% F.S.

重復(fù)精度±2% F.S.

電源電壓DC12～24V±10%

消耗電流16mA以下

可選項(xiàng)-無(wú)L型托架

●無(wú)潤(rùn)滑脂、對(duì)應(yīng)RoHS

●一個(gè)電壓監(jiān)控器即可對(duì)應(yīng)全部量程

●相關(guān)元件:真空過濾器ZFC050系列

SMC流量傳感器安裝連接尺寸