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小金井KOGANEI超精密過濾器如何正確操作

  • 產(chǎn)品型號:
  • 更新時間:2024-05-25

簡要描述:小金井KOGANEI超精密過濾器如何正確操作
使用的部件在無塵清潔室里進(jìn)行了精密清洗。附著的微粒子少,能立即投入使用
液晶、半導(dǎo)體相關(guān)工序中的各種溶劑、純水線路中傳送氣體的壓力控制、噴氣壓力控制,潔凈空氣、氣體壓力控制等的高精度設(shè)定(感度0.001MPa)。

產(chǎn)品詳情

小金井KOGANEI超精密過濾器如何正確操作
30一體式壓力表幾乎沒有凸出部位,結(jié)構(gòu)緊湊。
并且實現(xiàn)了醒目的指針擺動角度270°的指示范圍,提高了可視性
便于操作的把手的形狀和大小,把手旋轉(zhuǎn)輕松又順暢。
此外,把手鎖定的分辨率得以提高,從而減輕了把手鎖定時設(shè)定壓力的波動。
可任意更改設(shè)定壓力范圍(綠色部分)。
可自由更改設(shè)定范圍的上下限,無需拆下前端罩殼(透明樹脂部分)或使用工具。
所有尺寸的FRZB過濾器調(diào)壓閥的托架均實現(xiàn)了化。
采用多孔中空絲膜濾芯,了同樣情況下平膜小芯10倍以上的接觸面積。
過濾精度高、小型流量大、壽命長
是適合于IC制造裝置等吹氣式終端過濾器
另外,iB-Cyclone與FRZ系列的托架也實現(xiàn)了化。
所有尺寸的FRZB過濾器調(diào)壓閥,面板安裝時的孔徑均為φ 28.5mm。
有關(guān)自動排水的動作原理,請參閱頁的參考資料“自動排水式的動作說明”。
可在排水口的竹節(jié)式接頭上連接內(nèi)徑為φ 4mm的氣管。
請在確認(rèn)排水口關(guān)閉(鎖定)之后進(jìn)行氣管的連接作業(yè)。
請將連接到排水口竹節(jié)式接頭上的氣管的斷面切成直角,然后如下圖所示插到底。
另外,安裝之后,請輕輕地拉拔氣管,確認(rèn)不會脫落。
請勿使連接到排水口竹節(jié)式接頭上的氣管在竹節(jié)式接頭附近過度彎曲或進(jìn)行撬動。
濾芯是PTFE制膜和PTFE制不織布構(gòu)成的雙重構(gòu)造確保了本產(chǎn)品的安定的??梢缘夭蹲?.01μm的微粒子
使用的部件在無塵清潔室里進(jìn)行了精密清洗。附著的微粒子少,能立即投入使用
液晶、半導(dǎo)體相關(guān)工序中的各種溶劑、純水線路中傳送氣體的壓力控制、噴氣壓力控制,潔凈空氣、氣體壓力控制等的高精度設(shè)定(感度0.001MPa)。

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